夾具的幾何誤差，夾具的作用是使工件相當于刀具和機床具有正確的位置，因此夾具的幾何誤差對于機械加工誤差(特別是位置誤差)有很大影響。定位誤差，定位誤差主要包括基準不重合誤差和定位副制造不準確誤差。在機床上對于機械加工工件進行加工時，須選擇工件上若干幾何要素作為加工時的定位基準，如果所選用的定位基準與設計的基準(在零件圖上用來確定某一表面尺寸、位置所依據基準)不重合，就會產生基準不重合誤差。
工件定位面與夾具定位元件共同構成定位副，由于定位副制造得不準確和定位副間的配合間隙引起的工件最大位置變動量，稱為定位副制造不準確誤差。定位副制造不準確誤差只有在采用調整法加工時才會產生，在試切法加工中不會產生。工藝系統受力變形產生的誤差，工件剛度：工藝系統中如果工件剛度相對于機床、刀具、夾具來說比較低，在切削力的作用下，工件由于剛度不足而引起的變形對機械加工誤差的影響就比較大。刀具剛度：外圓車刀在加工表面法線(y)方向上的剛度很大，其變形可以忽略不計。鏜直徑較小的內孔，刀桿剛度很差，刀桿受力變形對孔加工精度就有很大影響。
機械加工機床部件剛度：機床部件由許多零件組成，機床部件剛度迄今尚無合適的簡易計算方法，目前主要還是用實驗方法來測定機床部件剛度。影響機床部件剛度的因素有結合面接觸變形的影響、摩擦力的影響、低剛度零件的影響、間隙的影響。
